Описание
3D конфокальный профилометр ATO-200 предназначен для высокоточных измерений поверхности прецизионных устройств и материалов с субнанометровым разрешением. Он находит применение в различных отраслях промышленности благодаря своим уникальным техническим характеристикам.
Профилометр ATO-200 позволяет получать детальные трехмерные изображения поверхности с субнанометровым разрешением. Программное обеспечение для обработки данных и анализа обеспечивает высокую повторяемость измерений до 0,002 нм.
Благодаря использованию крупномасштабных и высокоскоростных нано-пьезоэлектрических керамических устройств, профилометр ATO-200 способен сканировать поверхности со скоростью до 400 мкм/с и частотой 3200 Гц. Алгоритм SST+GAT позволяет мгновенно обрабатывать до 5 миллионов точек.
Принцип фазовой метрологии интерферометрии белого света обеспечивает высокую точность измерений (<1 нм) при любом увеличении. Большое поле зрения позволяет проводить крупномасштабные измерения.
ATO-200 поддерживает международные стандартные инструменты измерения, что позволяет эффективно анализировать 3D-данные в различных отраслях.
Характеристики
Источник освещения | источник белого света, длина волны 520 нм |
Принцип сканирования | интерференция белого света |
Среднеквадратичная повторяемость: | 0,005 нм |